SJ/T 11634-2016 英語 PDF (SJT11634-2016)

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SJ/T 11634-2016: 現像液を用いた電子産業におけるメタノールの測定 - ヘッドスペースガスクロマトグラフィー法
11634-2016 の翻訳
エレクトロニクス業界標準
中華人民共和国
ICS31.030
90 メートル
レコード番号:
電子産業におけるメタノールの測定
開発者 – ヘッドスペースガスクロマトグラフィー法
発行日: 2016年4月5日
実施日: 2016年9月1日
発行元：中華人民共和国工業情報化部
目次
序文…3
1 範囲 ... 4
2 規範的参照 ... 4
3 用語と定義 ... 4
4 方法の原理 ... 4
5 試薬と材料 ... 5
6 装置...6
7 テスト...6
8 精度と結果...7
9 方法の検出限界...8
10 スパイク回復率...9
11 レポート...9
電子産業におけるメタノールの測定
開発者 - ヘッドスペースガスクロマトグラフィー法
1 範囲
この規格は、メタノール含有量の測定方法を規定する。
ヘッドスペースガスクロマトグラフィー法によるエレクトロニクス産業向け開発者。
この規格は、現像液中のメタノール含有量の測定に適用される。
電子機器産業。この分野でのメタノールの最小検出濃度は
方法は1mg/kgです。
2 規範的参照
この文書の申請には以下の文書が必須です。
日付の記載された文書については、日付が示されたバージョンのみが本文書に適用されます。
文書; 日付のない文書については、最新バージョン（すべての
この文書には、以下の条項（修正条項など）が適用されます。
GB/T 602 化学試薬 - 不純物の標準溶液の調製
GB/T 6682 分析実験室用水 - 仕様と試験方法
GB/T 9722 化学試薬 - ガスクロマトグラフィーの一般規則
3 用語と定義
この文書では、GB/T 9722 に記載されている用語と定義が適用されます。
4 方法の原則
密閉されたボトルの中で、ある温度に達すると、メタノール分子が液体から逃げ出す。
気相に変化する。一定時間後、メタノール分子は
気相と液相の間の動的平衡。このとき、
気相中のメタノールの濃度は、
液相。気相のメタノールは毛細管カラムによって分離され、
水素炎イオン化検出器で検出される。保持時間は定性的であり、
6 装置
6.1 ガスクロマトグラフ
水素炎イオン化検出器（FID）およびデータ処理システム。
6.2 ヘッドスペースサンプル注入装置
ヘッドスペースサンプラーまたはその他の同等の装置。
6.3 ヘッドスペースボトル
一般的に使用される容量は（22±0.5）mLで、ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）で裏打ちされています。
シリコンゴムまたはブチルゴムのパッドとアルミキャップ。
パッド内でメタノールの測定は行われないものとする。
6.4 ローリングおよびデキャップツール
ヘッドスペースボトルの密封と開封に使用します。
6.5 パーフルオロアルコキシ樹脂（PFA）ボトル
6.6 電子天秤
最小目盛は0.0001gです。
7 テスト
7.1 機器の動作基準条件
7.1.1 ガスクロマトグラフ操作の基準条件
a) クロマトグラフィーカラムタイプ: 極性キャピラリークロマトグラフィーカラムが適している
現像液中のメタノールを分離するため。
b) キャリアガスの種類：高純度窒素またはヘリウム。
c) キャリアガス流量：1.5mL/分
d) 検出器タイプ：水素炎イオン化検出器
e) カラム温度：85℃
f) サンプラー温度：150°C
g) 検出器温度: 300°C。
9 方法の検出限界
現像液を調製し、現像液に20mg/kgを定量添加する
メタノール標準溶液; 機器を最適な動作状態に調整し、測定する
メタノール標準添加の有無による現像液中のメタノール含有量
解決策;その間、少なくとも10回連続して測定します。
検出限界は「DL」で計算され、値は「mg/kg」で表され、
式（１）に従って計算される。
どこ：
C - メタノール標準溶液の濃度の値
開発者、（mg/kg）[c = 20];
S - 現像液中のメタノールのピーク高さまたはピーク面積の標準偏差
メタノール標準溶液を添加しない溶液。
S1 - 現像液中のメタノールの平均ピーク高さまたはピーク面積。
メタノール標準溶液を添加する;
S0 - 現像液中のメタノールの平均ピーク高さまたは平均面積
メタノール標準溶液を添加せずに;
現像液中のメタノールのピーク高さまたはピーク面積の標準偏差
メタノール標準溶液を加えない溶液（「s」で表す）
式（２）で計算される。
どこ：
xi – メタノールを添加した展開液中のメタノールのピーク高さまたはピーク面積
標準溶液;
– 現像液中のメタノールの平均ピーク高さまたはピーク面積。
メタノール標準溶液;